[18p-E102-1~13] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

△ [18p-E102-7] Development of the fabrication process of a smart CMOS multi-electrode array device with a flexible structure for artifical retina

〇Naruhisa Yoshida¹, Takanori Hagiwara¹, Kaige Pan¹, Yoshinori Sunaga¹, Makito Haruta¹, Takurou Kouno², Yukari Nakano², Yasuo Terasawa², HIroyuki Tashiro^1,3, Hironari Takehara¹, Kiyotaka Sasagawa¹, Jun Ohta¹ (1.NAIST, 2.NIDEK Co.,Ltd., 3.Kyushu Univ.)

Keywords:artifical retina, CMOS, Parylene

人工視覚デバイスは，網膜細胞を電気刺激する事で網膜疾患者の視覚再建を可能にする．本研究では，高解像度および広視野角の視覚再建を目指し，フレキシブル人工視覚CMOSスマート電極デバイスの多電極化を行った．パリレンC薄膜基板にセラミック基板モジュールを複数個配置する実装プロセスを開発し，3個のセラミック基板モジュールを搭載する多電極化デバイスの試作を行った．