[18p-E302-1~11] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[18p-E302-3] バーチャル電極を用いた電気泳動堆積による酸化グラフェン薄膜
構造物の可逆的制御

〇野村 建樹¹、星野 隆行¹ (1.弘前大院理工)

キーワード：酸化グラフェン、電気泳動堆積、電子線

任意の位置、形状で負電場を印可できるバーチャル電極を使用した電気泳動堆積により、酸化グラフェンマイクロプレートレット（GOmp）を窒化シリコン（SiN）膜上の任意の位置に堆積させ、任意形状の薄膜製造と3D構造体作成の可能性について検討した。GOmpとSiN膜にそれぞれポリエチレンイミン（PEI）をコーティングすることでゼータ電位を正に変化させ、SiN膜上のVCを印加した部分にのみGOmpを堆積させることを可能にした。