評価試験方法(2)

[V-408] FIB-SEMによる空隙構造の3Dイメージング

〇鎌田 知久¹、岸 利治¹ (1.東京大学)

キーワード：空隙構造、FIB-SEM、3Dイメージング、三次元画像、セメントペースト

FIB-SEMにより、セメント硬化体の細孔構造の高精度な三次元情報を取得することを目指し、本手法を適用する際に課題となる試料の観察方法について検討を行った。その結果、ピックアップ法により、母体試料から薄膜試料を採取することで、試料からの水分逸散による観察中のドリフトを大幅に低減することが可能となり、高精度な三次元画像を取得できることを確認した。