[D-04] OS08 計算手法の数学解析と現実問題への適用 (1)

[D-04-04] 半導体ウェハーの高精度な抵抗率測定に向けた数値シミュレーション事例報告

*中野 泰河¹、劉 雪峰² (1. ナプソン株式会社、2. 東京女子大学)