講演情報

OS08 計算手法の数学解析と現実問題への適用

[D-04] OS08 計算手法の数学解析と現実問題への適用 (1)

2024年6月10日(月) 15:00 〜 16:30 D会場 (504室)

座長:高石武史(武蔵野大学)

15:45 〜 16:00

[D-04-04] 半導体ウェハーの高精度な抵抗率測定に向けた数値シミュレーション事例報告

*中野泰河¹、劉雪峰² (1. ナプソン株式会社、2. 東京女子大学)

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