[3D] (04)教材の開発－III

[3D11] Improvement of an Educational Resource of Semiconductor Device Fabrication

○Takuto TSUJI¹, Shiro NAGAOKA², Akihiro WAKAHARA³ (1. 鈴鹿工業高等専門学校、2. 香川高等専門学校、3. 豊橋技術科学大学)

Keywords:Semiconductor Device Fabrication, Educational Resource, Silicon Solar Cell

これまでに開発した半導体デバイス作製教材に関して，不純物拡散層の熱処理温度及び時間を変化させてSi半導体デバイスを作製し特性の改善を試みた.