日本機械学会 2023年度年次大会

Presentation information

OS-j(部門横断)

OS-j(部門横断) » J041 超音波計測・解析法の新展開

[J041] 超音波計測・解析法の新展開

Wed. Sep 6, 2023 3:00 PM - 3:45 PM Room 30 (11ー201)

座長:西野 秀郎(徳島大学)

3:00 PM - 3:15 PM

[J041-01] On the Evaluation of Quality of Photoresist Films Using Acoustic Resonance

〇Hironori Tohmyoh1, Hyelin Kim1 (1. 東北大学)

Keywords:超音波、フォトレジスト膜、音響共鳴、音速、密度