[J041] 超音波計測・解析法の新展開

[J041-01] On the Evaluation of Quality of Photoresist Films Using Acoustic Resonance

〇Hironori Tohmyoh¹, Hyelin Kim¹ (1. 東北大学)

Keywords:超音波、フォトレジスト膜、音響共鳴、音速、密度