[J111] 次世代アクチュエータシステム

[J111-01] マイクロシートバルブを用いた高出力空気圧マイクロポンプに関する研究

久保 隆顕¹、〇吉田 和弘¹、金 俊完¹ (1. 東京工業大学)

キーワード：空気圧マイクロポンプ、マイクロシートバルブ、空気圧システム、MEMS、マイクロアクチュエータ