[J111] 次世代アクチュエータシステム

[J111-01] A Study on a High Power Pneumatic Micropump Using Micro Sheet Valves

Takaaki Kubo¹, 〇Kazuhiro Yoshida¹, Joon-wan Kim¹ (1. 東京工業大学)

Keywords:空気圧マイクロポンプ、マイクロシートバルブ、空気圧システム、MEMS、マイクロアクチュエータ