[J113p] トライボロジーの基礎・応用と表面設計［ポスター］

[J113p-20] The effect of increasing residence time to exhaust of unused raw material gas on DLC coating

〇Chinatsu Ito¹, Hiroyuki Kosaka¹, Akinori Oda² (1. 岐阜大学、2. 千葉工業大学)

Keywords:DLC、プラズマ、環境負荷低減、PECVD、表面処理