[J113p] トライボロジーの基礎・応用と表面設計［ポスター］

[J113p-23] 地熱発電用蒸気配管内面へのスケーリング抑制のための管内DLC成膜技術の開発

〇Risako Imai¹, Hiroyuki Kosaka¹, Yuya nakazima² (1. 岐阜大学、2. 富士電機)

Keywords:DLC、プラズマ、内面成膜