[J132p] 加工技術の最前線［ポスター］

[J132p-08] Development of Pad Surface Conformable Conditioning Technology in CMP Process

〇Takuro Ito¹, Takashi Fujita², Kaita Okamoto¹ (1. 近畿大学大学院、2. 近畿大学)

Keywords:ＣＭＰ、ファイバーコンディショナ、微細コンディショニング、長寿命化