日本機械学会 2023年度年次大会

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OS-j(部門横断)

OS-j(部門横断) » J132 加工技術の最前線

[J132p] 加工技術の最前線[ポスター]

Mon. Sep 4, 2023 1:00 PM - 2:30 PM D (Bld.8, 1F)

[J132p-08] Development of Pad Surface Conformable Conditioning Technology in CMP Process

〇Takuro Ito1, Takashi Fujita2, Kaita Okamoto1 (1. 近畿大学大学院、2. 近畿大学)

Keywords:CMP、ファイバーコンディショナ、微細コンディショニング、長寿命化