[J132p] 加工技術の最前線［ポスター］

[J132p-20] Study on waviness measurement by laser inverse scattering using optical spatial frequency filter

〇Tatsuki Taninoue¹, Satoshi Itakura¹, Tsutomu Uenohara¹, Yasuhiro Mizutani¹, Yasuhiro Takaya¹ (1. 大阪大学)

Keywords:レーザ逆散乱法、うねり計測、光空間周波数フィルタリング、インプロセス計測、3次元計測