[J133p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用［ポスター］

[J133p-02] Prototype of a unidirectional magnetic field-applied fast atom beam source for surface-activated bonding

〇Kyosuke Oshima¹, Wataru Nomura¹, Taisei Kato¹, Chiemi Oka¹, Junpei Sakurai¹, Seiichi Hata¹ (1. 名古屋大学)

Keywords:高速原子ビーム、表面活性化接合、基板接合、Arプラズマ