[J133p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用［ポスター］

[J133p-04] 表面活性化接合における炭素凝集体排出のインプロセス計測

〇福井 大将¹、加藤 泰成¹、大島 京祐¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学大学院工学研究科)

キーワード：表面活性化接合、高速原子ビーム源、炭素凝集体、接合欠陥、インプロセス計測