[J133p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用［ポスター］

[J133p-04] In-process measurement of carbon aggregate emissions in surface activated bonding

〇Taisho Fukui¹, Taisei Kato¹, Kyosuke Osima¹, Tiemi Oka¹, Junpei Sakurai¹, Seiiti Hata¹ (1. 名古屋大学大学院工学研究科)

Keywords:表面活性化接合、高速原子ビーム源、炭素凝集体、接合欠陥、インプロセス計測