[J133p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用［ポスター］

[J133p-06] Simulation estimation of oxide film removal by fast atom beam

〇Yuya Takamatsu¹, Kyosuke Oshima¹, Taisei Kato¹, Chiemi Oka¹, Junpei Sakurai¹, Seiichi Hata¹ (1. 名古屋大学)

Keywords:表面活性化接合、高速原子ビーム源、プラズマシミュレーション