日本機械学会 2023年度年次大会

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OS-j(部門横断)

OS-j(部門横断) » J133 マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用

[J133p] マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用[ポスター]

Mon. Sep 4, 2023 10:30 AM - 12:00 PM C (Bld.8, 1F)

[J133p-06] Simulation estimation of oxide film removal by fast atom beam

〇Yuya Takamatsu1, Kyosuke Oshima1, Taisei Kato1, Chiemi Oka1, Junpei Sakurai1, Seiichi Hata1 (1. 名古屋大学)

Keywords:表面活性化接合、高速原子ビーム源、プラズマシミュレーション