[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用［ポスター］

[J221p-01] Fabrication of self-standing microstructures using the bimetallic effect of thin-film metallic glass

〇Yongjie Chen¹, Reo Nagai¹, Takuya Onishi¹, Chiemi Oka¹, Junpei Sakurai¹, Seiichi Hata¹ (1. 名古屋大学)

Keywords:MEMS、バイメタル効果、マイクロプローブ、自己組立、薄膜金属ガラス