[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用［ポスター］

[J221p-04] Deposition and layer number control of molybdenum disulfide (MoS₂) thin films by mist CVD

〇Masahiko Komatsu¹, Tatsuya Yasuoka¹, Li Liu^1,2, Toshiyuki Kawaharamura^1,2 (1. 高知工大シス工、2. 高知工大総研)

Keywords:MoS2、層状物質、二次元材料、ミストCVD、潤滑剤、SA-CVD、薄膜