[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224-03] 切欠き先端近傍のせん断応力場におけるシリコンの結晶すべり系と疲労損傷

Hiroko Sugiyama¹, Hayato Izumi¹, 〇Shoji Kamiya¹ (1. 名古屋工業大学)

Keywords:シリコン単結晶、結晶すべり系、疲労損傷