[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-03] Analysis of Vibrational Modes in β-Ga₂O₃ by using Polarized Raman Spectroscopy

〇Kotaro Tajima¹, Hirohisa Kimachi¹ (1. 名城大学)

Keywords:酸化ガリウム、パワーデバイス、ラマン分光法、偏光測定、半導体材料