日本機械学会 2023年度年次大会

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OS-j(部門横断) » J224 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

Wed. Sep 6, 2023 10:30 AM - 12:00 PM D (Bld.8, 1F)

[J224p-05] A Study on Electrical Characteristics of Micro-Patterned Self-Assembled Electrets

〇Ruichen LI1, Reiki SUGIMOTO1, Kosuke KAWASHIMA1, Yuya TANAKA2, Daisuke YAMANE1 (1. 立命館大学大学院理工学研究科、2. 群馬大学大学院理工学府)

Keywords:MEMS、vibration energy harvester、self-assembled electret、simulation、COMSOL