[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-12] 機械信頼性に優れる積層銀焼成ダイボンディング技術

〇Ryota Fukuda¹, Daisuke Yasugi, Takahiro Namazu¹ (1. 京都先端科学大学)

Keywords:銀焼成、ダイボンディング、クラック制御