[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-18] Improvement of Sensitivity of MEMS Tactile Sensors by Improving Cantilever Planar Geometry

〇Ryusuke Mitobe¹, Ken Murakami¹, Yingquan Zheng¹, Hideto Kadota¹, Takashi Abe¹, Masayuki Sohgawa¹ (1. 新潟大学　)

Keywords:触覚センサ、MEMSセンサ、カンチレバー、ハプティクス、ひずみゲージ