粉体粉末冶金協会2022年度秋季大会(第130回講演大会)

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粉末積層3D造形に関わる材料および技術の最先端

2022年11月17日(木) 10:10 〜 11:45 第Ⅰ会場 (ハーディーホール)

座長:木村 貴広(大阪産業技術研究所)

11:00 〜 11:15

[1-58A] 電子ビーム積層造形法によるシリコンの造形

*石井 貴之1,2、王 昊1、青柳 健大1、千葉 晶彦1 (1. 国立大学法人東北大学 金属材料研究所 加工プロセス工学研究部門 千葉研究室、2. 東京エレクトロン宮城株式会社)

キーワード:電子ビーム積層造形、粉末導電性試験、シリコン

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