講演特集：金属ガラス・ナノ結晶材料および高エントロピー合金の基礎と応用に関する新たな展開

[3-56A] タンデムスパッタ法による磁性-誘電ナノ結晶膜の粒子形状制御

*青木 英恵¹、打越 雄央^1,2、大沼 正人³、本田 祥基³、小林 伸聖⁴、大沼 繁弘^1,4、増本 博¹ (1. 東北大学、2. 材料科学技術振興財団、3. 北海道大学、4. 電磁材料研究所)

キーワード：ナノ結晶膜、形状異方性、磁気誘電効果