[11P] ビームライン・測定器

[11P-20] 大気圧プラズマを用いたエッチングによるGeチャネルカット結晶の内壁面無歪み化

*三宅 雅史¹、松村 正太郎¹、小笠原 伊織¹、大坂 泰斗²、山内 和人¹、矢橋 牧名^2,3、佐野 泰久¹ (1. 大阪大学、2. 理研/SPring-8、3. JASRI/SPring-8)

Keywords:チャネルカット結晶、大気圧プラズマ、無歪み化、ゲルマニウム