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[2] ビームライン・測定器

[12P] ビームライン・測定器

Sun. Jan 12, 2025 1:00 PM - 3:00 PM [2] ビームライン・測定器 (企業展示・ポスター会場)

[12P-22] 開発研究多機能ビームラインでのフェールセーフを目的とした差動排気システムのR&D

*山下翔平¹、石井晴乃¹、片岡竜馬¹、若林大佑¹、田中宏和¹、間瀬一彦¹ (1. 高エネルギー加速器研究機構、物質構造科学研究所)

Keywords:差動排気、真空

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