イノベーションサイエンス株式会社は英国HIDEN ANALYTICAL社製の分析装置、理化学製品の販売をしています。半導体・電気・金属・触媒・エネルギー・自動車・化学・医薬品など様々な分野の研究・開発をサポートする製品を扱っています。分析機器新設のご相談に加え、既存の装置への取り付けなども実施しておりますので、まずはお気軽にお問い合わせください。

資料1
モデルEQP
高透過イオンエネルギーアナライザーとトリプルフィルター四重極質量分析計を搭載したプラズマ診断ツールです。イオンエネルギー質量スペクトルと、プラズマイオンのイオンエネルギー分布を分析します。中性粒子とラジカルの検出が可能です。電子付着イオン化モードでは、陰性プラズマにおけるラジカル検出機能が搭載されています。負イオンの検出ができるのも当モデルの特徴です。

資料2
モデルSIMS WorkStationシリーズ
二次イオン質量分析から、デプスプロファイリング、スパッタ中性粒子質量分析までSIMS研究をサポートする高性能質量分析計です。ご利用の研究用途に適したオプションを搭載したモデルを選択して頂けます。

モデルCOMPACT SIMS
レイヤー構造、表面汚染、不純物キャラクタリゼーションを目的に設計されており、酸素プライマリーイオンビームによる正イオン検出が可能です。イオンソースは、ナノメートルデプス分解能に対応します。

モデルAUTO SIMS
二次イオン質量分析（SIMS）により、無人操作でルーチン分析と反復分析を実行します。自動制御X-Yステージと拡張ホルダーを備え、24時間停止せずにプロセス処理が可能です。

モデルTOF-qSIMS
新製品の当モデルは、飛行時間質量分析で高感度のトップ単分子層分析を実現しながら、さらに、四重極質量分析計の低濃度デプスプロファイリングと高速イメージング機能を維持します。

資料3
モデル HAL201 RC
しきい値イオン化(ソフトイオン化)質量分析計のモデルHAL 201 RCアナライザーは、4～150eVまでのイオンエネルギーに連続可変または固定し、通常では難しいアンモニアと水の同時測定をソフトイオン化して実施します。さらに、イオンエネルギーを連続スウィープすることで、中性粒子のしきい値イオンエネルギーも測定可能です。

モデルESPion
ラングミュアプローブによりプラズマの高速診断を可能にします。I-Vプラズマ特性管理により、プラズマの安定性を確保して分析結果を得られます。また、リアルタイムにプラズマパラメーターを取得することで、特性評価や均一性観察に利用できます。