SUSに代わるBeCuで真空中のガス放出を解決します。
真空中の熱問題を解決します。

今回の出展製品は真空機器と電源装置です。極高真空から大気圧までのラインナップをそろえた真空機器，スパッタリングで問題となるアーク異常放電を抑制する機能を持っ た電源装置を紹介します。
〔真空計〕
一体型で使いやすいフルレンジゲージのCC-10、コンパクトなミニチュアイオンゲージIG-10、10E-12Paでの極高真空計測ができる3Bゲージなどを紹介します。
〔質量分析計〕
超高感度計測が可能なTOELブランドの四重極質量分析計WATMASS-MPH、 また米国インフィコン社の代理店としてインフィコンブランドの四重極質量分析計Transpectorシリーズを紹介します。
〔0.2%BeCu合金〕
ステンレス鋼に代わる0.2%BeCu合金は、高熱伝導率と低熱輻射率による超低ガス放出化・低温化により極高真空を生み出します。0.2%BeCu合金は当社の極高真空コンポーネント・超高感度ガス分析装置に使用され、従来のステンレス鋼使用のコンポーネント・装置に比べ格段の高い性能を引き出します。今回はニップル(配管)、キューブ (継手)、フランジ、チャンバを紹介します。
〔吸着型極高真空ポンプ〕
ポンプケーシングに0.2%BeCu合金を採用し極高真空をもたらすマジックNEG、また、NEGの粉末を最新技術の非接触型アトマイズ法で製造し、粒子を圧縮固化せず使用する新しい発想のAG-NEGを紹介します。
〔超高感度ガス分析システム〕
超低ガス放出質量分析計WATMASS-MPHおよび、超低ガス放出真空構造材0.2%BeCuを活用した分析計は10E-7Pa台を保持した蓄積法が可能な新しい発想の分析法です。