日本電子株式会社は、電子線プローブマイクロアナライザ（EPMA）の便利な新機能とXRFとのインテグレーション、さらにオージェマイクロプローブの新ソフトウェア「Spectrum Image」をご紹介いたします。

・日本電子のEPMA、JXA-iSP100, JXA-iHP200Fの便利な新機能のご紹介
「Zeromag」はホルダー全体を撮像したカラーステージナビゲーション像から分析視野を見つけ、さらに高倍率のSEM像観察までシームレスな動きを実現しました。「LiveAnalysis」や「LiveMap」はSEM観察している視野を常にEDSで元素分析するため、WDS分析前に主元素の分布の確認ができます。他に注目元素がある場合はアラート機能があるので分析したい視野を素早く見つけることができます。さらに広い領域の観察と分析を行いたいときは、観察条件と観察視野を指定するだけで、指定した倍率でそれぞれの視野をEDS測定・合成できる「モンタージュ」機能も搭載されました。

・XRF-EPMAインテグレーションのご紹介
日本電子のEPMA JXA-iSP100・iHP200Fは、エネルギー分散型蛍光X線分析装置（XRF) JSX-1000Sのデータを読み込むことで自動的に分光結晶の選択を行う機能を有しております。XRFは，mmオーダーの広範囲領域に対して主要元素から微量元素までを短時間で定性・定量分析することができるので，EPMA分析の前にXRFでスクリーニング測定を行うことで，より正確かつ効率的な解析が可能となります。

・オージェマイクロプローブの新オプションソフト Spectrum Image
電子分光ではイメージ測定やスペクトル測定など、これまで目的に応じた測定を専用オペレーターが行っていました。新しいソフトウェアでは電子分光でもSEM+EDSのようにスペクトルイメージを実現します。また、分析に要する時間の短縮も図っており、従来より効率的な解析を行うことができます。