2020年日本表面真空学会学術講演会

出展者情報

[B7] 有限会社テク

有限会社テク

(1) UHVスーツケース
・サンプルを清浄に保持しUHV・極低温環境下で保管、遠隔地への搬送及び装置間の移送モジュールとして開発されたポータブルUHVトランスファーベッセルです。
・超小型、軽量コンパクトでさまざまな用途に適したモジュール式システムです。
・フルベーキング後真空封止により使用可能状態で出荷されます。
(2) 高速真空排気ドッキングステーション
・UHVシステムを大気に曝すことなくUHVスーツケースからUHVシステムへ高速でサンプル移送が可能です。
・真空度は、TMPとクライオポンプにより約30分以内にサンプル移送に⼗分良好なレベルに到達します。
(3) クライオ装置
1)LN2フローUHVブースター(ヒーターコイル/温度センサー付)
2)LN2デュワーUHVブースター(ヒーターコイル/温度センサー付)
  ※ターボ分子ポンプと組み合わせてロードロック又は小さな搬送用チャンバー等にセットアップしてクライオポンプとして使えます。
(4) シングルシャフトウォブルスティック & デュアルシャフトウォブルスティック
・超高真空チャンバー内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、大気側と真空側にダブルにセットされた磁気作動によりシャフトの動きは大気圧と超高真空圧差の影響を受けずに滑らかに制御することができ、ほぼ力のない状態で直線・回転・揺動運動を行うことができます。
(5) サンプルヒーティング
・PBNヒーターアセンブリー(Max.1000℃)
・E-ビームヒーター(RT~2000℃)
・直流通電ヒーター(Max.1000℃)
(6) AFM用水晶振動子 & チューニングフォーク取付基板
・AFM用水晶振動子のチューニングフォーク及びニードルセンサーは、超高真空・極低温・液中環境下でのAFMプローブとして広く利用されています。
・AFM用水晶振動子の先端にW、Pt/Ir等を接合してAFMプローブとして使用します。光を使用しないため光に敏感なサンプルのAFM測定に向いています。
(7) シングルシャフト直線回転導入機 & デュアルシャフト直線回転導入機
(8) サンプルトランスポーター
・スライドベアリングタイプ:高頻度のベーキング後でも滑らかな動作を保証できる特別設計ベアリング 
・ボールベアリングタイプ:Dicronite®(WS2)乾燥潤滑剤コーティングのベアリング
・スライドベアリングとボールベアリングの組合せタイプ
(9) Boomerax 多軸マニピュレーター
(10) ピンサー & グラバーツール
(11) サンプルホルダー & サンプルレシーバー & サンプルキャリア
(12) ヘキサポッドポートアライナー
(13) チャンネル・エレクトロン・マルチプライヤー
(14) 防振ウエイト
(15) ミニチュアK-セル