2020年日本表面真空学会学術講演会

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[B2] 株式会社アルバック

株式会社アルバック

アルバックは、世界で唯一の真空総合メーカーとして真空装置・真空機器・材料・分析機器・カスタマーソリューションなどの多様な真空技術を、総合的に幅広い業界向けに提供します。
今後のスマート社会の実現に向けて、社会・業界の課題に答えを出し続けて参ります。

今回は数ある製品の中から一部になりますが、次の4点を紹介いたします。
製品のお問い合わせはもちろん、不明点がございましたらブース内の問い合わせよりコンタクトください。

【マルチイオンゲージ G-TRANシリーズ SH200/ST200】
マルチイオンゲージの新シリーズです。異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』は、広帯域測定、低ランニングコストのコンセプトはそのままに、従来品より大幅に小型化!PC・スマートフォンを接続して状態の確認、故障診断が行えメンテナンス面も、よりユーザーフレンドリー設計です。

【触診プロファイラ Dシリーズ】
Alpha-Step Dシリーズは、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。

【高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ】
透明または半透明薄膜(酸化膜、窒化膜、レジスト、ITOなど) の膜厚、屈折率、消衰係数の測定。アルバックの高速分光エリプソメータは、独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現。薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定します。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置への組み込みが可能なビルトインタイプまで用途に応じた幅広いラインアップを揃えています。

【リークディテクタ HELIOT900シリーズ】
HELIOT900シリーズは、5L/secのヘリウム排気速度でわずかな漏れも見逃さない!タブレットコントローラは、ワイヤレスで40m先からも操作可能!移動性、保守性、起動時間と利便性にも優れたリークディテクタです。漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。