パークシステムズは韓国・水原（Suwon）に本拠地を持ち、30年の歴史を持つ原子間力顕微鏡（AFM）専門メーカーです。研究用と産業用に様々な特徴を持ったAFMをご用意しております。
“最も正確で使いやすい原子間力顕微鏡”として弊社製品に共通する特徴的な機能は以下通りです。
① 独立したフレクチャー式XYスキャナ、およびZスキャナの設計により、一般的なAFMで発生するボウイング（湾曲）を無くし、フラットスキャンにより凹凸のみならず、角度、円形などの様々な形状の正確な表面情報取得を可能にしました。
② 真のノンコンタクトモードを採用することで、サンプル表面の非接触・非破壊での測定が可能で、サンプルへのダメージレスはもちろん、探針の摩耗がなく高い繰り返し再現性を実現しました。
③ ユーザーフレンドリーで設計されたSmartScanはトポグラフィーに加え、様々なオプションモードが対応可能で、自動モードでは、４ステップでビギナーでも簡単にエキスパート同様のAFM像が得られます。

◎研究用AFMシリーズ
・サンプルのサイズ、観察環境などに応じて最適な装置をお選びください。

【NX10】
パークのコアテクノロジーを搭載したベーシックモデルとなるPark NX10は、最高のナノスケール解像度で信頼あるデータを提供します。サンプルのセッティングからイメージング、測定、解析に至るまですべての段階において簡単に操作することができます。数センチ程度のサイズのサンプルに対応し、トポグラフィー測定のみならず、機械・電気・磁気特性などサンプル表面の様々な情報を取得可能です。

【NX-Hivac】
真空チャンバーを備えたAFMシステムです。真空中での測定で更に高い精度と優れた再現性が得られ、またプローブ先端と試料間のダメージも大気中やN2環境よりも軽減されるので、大気中での計測で問題になっている陽極酸化などの影響を受けずにより正確な計測を実現します。特に本装置を使用したSSRM計測においては、広範囲のドーパント濃度と優れた信号応答で計測が可能になります。