島津製作所では、ターボ分子ポンプを分析・計測機器向けボールベアリング型ターボ分子ポンプの新製品であるTMP-BD200(200L/s)をご紹介致します。当社初のスプリットフロータイプで、低振動・低騒音を実現しました。機器本体に合わせ、排気量、吸気口の数、本体寸法をカスタマイズすることが可能です。また、ボールベアリング型で豊富な納入実績を誇るTMP-B70(70L/s)、B300(300L/s)や、電子部品や車載部品向けなど幅広く利用されているヘリウムリークディテクタMSE-2400シリーズをパネルでご紹介致します。
その他、半導体・ディスプレイ業界で世界トップクラスの実績を誇る磁気軸受型ターボ分子ポンプや、新素材として利用が広がるセラミックス向け真空焼結炉、脱脂炉などの真空関連機器を取り揃えております。お気軽にお問合せ下さい。