2020年日本表面真空学会学術講演会

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[C1] 株式会社ミラプロ

株式会社ミラプロ □ファイル名_KAGRAダクト容器製造写真集A0
超高真空を実現する為には,真空排気用ポンプの選定のみならず,レーザー光路のダクト及び真空容器の表面からの気体放出速度を10-8Pa・m3s-1m-2程度以下にするよう,材質選定・表面状態制御・排気工程管理工程等の多くの点に留意する必要がある。本ポスターでは製造した過程を写真を主に説明します。

□ファイル名_A1P_真空計_ミラプロ
ミラプロ...