10:30 〜 10:45
○前田直彦1),モハメッド シュルズミヤ1),中野武雄1) (1)成蹊大院理工)
スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)
2020年11月19日(木) 10:30 〜 12:00 E会場
座長:清水 徹英・後藤 康仁
10:30 〜 10:45
○前田直彦1),モハメッド シュルズミヤ1),中野武雄1) (1)成蹊大院理工)
10:45 〜 11:00
○草野英二1) (1)金沢工大高信頼理工学研究センター)
11:00 〜 11:15
○後藤康仁1),佐藤嶺1) (1)京大)
11:15 〜 11:30
溝口貴大1),中山佳之2),○井上泰志1,2),高井治3) (1)千葉工大工,2)千葉工大院工,3)関東学院大材料・表面工学研)
11:30 〜 11:45
○野口大輔1),寺村享祐2),矢野智泰2),栗原路子3),近藤千恵子3) (1)都城高専,2)三井金属鉱業(株)機能材料事業本部,3)高千穂シラス(株)R&Dセンター)
11:45 〜 12:00
○八木理子1),モハメッド シュルズミヤ1),中野武雄1) (1)成蹊大院理工)
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