2020年日本表面真空学会学術講演会

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マイクロビームアナリシス技術部会

[1Ca] マイクロビームアナリシス技術部会

Thu. Nov 19, 2020 9:30 AM - 12:15 PM C会場

座長:白木 将・二宮 啓

12:00 PM - 12:15 PM

[1Ca13] Fine structure of spectrum of secondary electron, 6: Contribution of Auger electron

○橋本哲1),櫻田委大1),後藤敬典2),田沼繁夫2),永富隆晴3) (1)JFEテクノリサーチ,2)物材機構,3)旭化成(株))