[1Da] データ駆動表面科学研究部会：高次元表面科学データからのデータ駆動的情報抽出

[1Da10] Data-driven spectral analysis method in electron-beam based techniques

○Da Do¹⁾，Liu Jiangwei²⁾，吉川英樹¹⁾，田沼繁夫¹⁾ (¹⁾物材機構統合型材料開発・情報基盤部門，²⁾物材機構機能性材料研究拠点)