PDF Download Schedule 10 Comment (0) 10:00 AM - 10:15 AM [1Ea05Y] Influence of nitrogen gas flow ratio on GaN film growth using high-density convergent plasma sputtering device at room temperature ○本村大成1)，田原竜夫1)，藤尾侑輝1)，奥山哲也2) (1)産総研センシングシステム研究センター ，2)久留米工業高専材料システム工)
