PDF ダウンロード スケジュール 10 コメント (0) 10:00 〜 10:15 [1Ea05Y] 高密度収束プラズマスパッタリング装置を用いた室温窒化ガリウム成膜の窒素ガス流量比依存性 ○本村大成1)，田原竜夫1)，藤尾侑輝1)，奥山哲也2) (1)産総研センシングシステム研究センター ，2)久留米工業高専材料システム工)
