2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

[1Ea2] SP部会

Thu. Nov 19, 2020 10:30 AM - 12:00 PM E会場

座長:清水 徹英・後藤 康仁

11:30 AM - 11:45 AM

[1Ea11] Evaluation of properties of Shirasu porous glass film made from volcanic ejecta Shirasu

○野口大輔1),寺村享祐2),矢野智泰2),栗原路子3),近藤千恵子3) (1)都城高専,2)三井金属鉱業(株)機能材料事業本部,3)高千穂シラス(株)R&Dセンター)