2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

[1Ea2] SP部会

2020年11月19日(木) 10:30 〜 12:00 E会場

座長:清水 徹英・後藤 康仁

11:30 〜 11:45

[1Ea11] 火山噴出物シラスを原料としたシラス多孔質ガラス薄膜の物性評価

○野口大輔1),寺村享祐2),矢野智泰2),栗原路子3),近藤千恵子3) (1)都城高専,2)三井金属鉱業(株)機能材料事業本部,3)高千穂シラス(株)R&Dセンター)