2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

[1Ea2] SP部会

Thu. Nov 19, 2020 10:30 AM - 12:00 PM E会場

座長:清水 徹英・後藤 康仁

11:45 AM - 12:00 PM

[1Ea12S] Applied voltage dependence of electrochromic properties in tungsten oxide thin films prepared by direct current reactive magnetron sputtering

○八木理子1),モハメッド シュルズミヤ1),中野武雄1) (1)成蹊大院理工)