2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

[1Ea2] SP部会

2020年11月19日(木) 10:30 〜 12:00 E会場

座長:清水 徹英・後藤 康仁

11:45 〜 12:00

[1Ea12S] 直流反応性マグネトロンスパッタ法で作製した酸化タングステン薄膜におけるエレクトロクロミック特性の印加電圧依存性

○八木理子1),モハメッド シュルズミヤ1),中野武雄1) (1)成蹊大院理工)