2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスター講演

[1P] ポスター講演

2020年11月19日(木) 14:30 〜 17:00 P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P20] 電子線誘起堆積における二次電子放出のシミュレーション解析

○中村優作1),楠見将啓1),平井義彦1),安田雅昭1) (1)阪府大院工)