2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスター講演

[1P] ポスター講演

2020年11月19日(木) 14:30 〜 17:00 P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P49] NEGコーティングに吸着するガスの再活性化過程と排気性能への影響

○金秀光1),谷本育律1),内山隆司1),本田融1) (1)高エネ研)